11:15 〜 11:30
〇野田 周一1、李 恩慈1、水林 亘2、遠藤 和彦2、寒川 誠二1,2 (1.東北大流体研、2.産総研ナノエレ)
野田 周一
発表者・著者、共著者
2016年9月16日(金) 09:00 〜 12:15 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月16日(金) 09:00 〜 12:15 B10 (展示控室1)
11:15 〜 11:30
〇野田 周一1、李 恩慈1、水林 亘2、遠藤 和彦2、寒川 誠二1,2 (1.東北大流体研、2.産総研ナノエレ)