13:45 〜 14:00
〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩⼀郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.不⼆越機械⼯業)
梅山 規男
発表者・著者、共著者
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
13:45 〜 14:00
〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩⼀郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.不⼆越機械⼯業)