14:30 〜 14:45
〇李 寧1、松尾 美弥1、羽深 等1、三ケ原 孝則2、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)
李 寧
発表者・著者、共著者
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
14:30 〜 14:45
〇李 寧1、松尾 美弥1、羽深 等1、三ケ原 孝則2、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ技術研究組合、3.産総研)