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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

2016年9月13日(火) 09:00 〜 11:45 B9 (展示ホール内)

木下啓蔵(PETRA)

10:00 〜 10:15

[13a-B9-5] フルオロカーボンプラズマによりエッチングされたSi基板最表面における構造解析

〇(M1)黒田源斗¹、高橋和生¹、西尾弘司¹ (1.京都工繊大)

キーワード：エッチング、透過型電子顕微鏡