2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[13a-B9-1~11] 8.4 プラズマエッチング

2016年9月13日(火) 09:00 〜 11:45 B9 (展示ホール内)

木下 啓蔵(PETRA)

10:30 〜 10:45

[13a-B9-7] ITO炭化水素プラズマエッチングにおける水素イオン照射の化学的効果

李 虎1、唐橋 一浩1、深沢 正永2、長畑 和典2、辰巳 哲也2、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.ソニー)

キーワード:透明電極材料、エッチング、水素

光電子バイスの微細化の発展とともに、ナノワイヤー電極が求められいる。光電子バイスの透明電極材料として金属酸化物のITO やZnO が広く使用されており、更なる微細化を実現するためにエッチング反応機構の解明が必要となる。CHx系反応性プラズマを用いたエッチング反応において、エッチング促進効果はCHxイオンに含まれる水素原子の数に強く影響を受けることを明らかになった。今回の研究では、ビーム験とともに第一原理計算を行い、透明電極材料のエッチングにおける水素効果を定量的に評価した。