The 77th JSAP Autumn Meeting, 2016

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Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[13a-D61-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

Tue. Sep 13, 2016 9:00 AM - 12:15 PM D61 (Bandaijima Bldg.)

Toshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki Univ.), Yoshihiko Hirai(Osaka Pref. Univ.), Jun Taniguchi(Tokyo Univ. of Sci.), Hiroaki Oizumi(GIGAPHOTON)

9:00 AM - 9:15 AM

[13a-D61-1] Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching

Kaiki Ito1, Yuta Suzuki1, Toshiyuki Horiuti1 (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:Lithography, Synchronous Scan-Projection Lithography, Cylindrical pipe

先行研究により直径2mmの円筒試料表面に線幅30-100µm程度のパターンを形成可能な走査投影露光装置が開発され、装置の基本性能が評価された。本研究では、ステント、網目管などへの応用を目標に直径2mmのステンレス管に網目パターンを形成し、化学エッチングによりステント形状部品を製作した。