[13a-D61-1~12] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[13a-D61-1] Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching

〇Kaiki Ito¹, Yuta Suzuki¹, Toshiyuki Horiuti¹ (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:Lithography, Synchronous Scan-Projection Lithography, Cylindrical pipe

先行研究により直径2mmの円筒試料表面に線幅30-100µm程度のパターンを形成可能な走査投影露光装置が開発され、装置の基本性能が評価された。本研究では、ステント、網目管などへの応用を目標に直径2mmのステンレス管に網目パターンを形成し、化学エッチングによりステント形状部品を製作した。