[13a-D61-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[13a-D61-1] 同期走査投影露光と化学エッチングによるマイクロ円筒部品の製作

〇伊藤 海樹¹、鈴木 佑汰¹、堀内 敏行¹ (1.東京電機大院工)

キーワード：リソグラフィ、同期走査投影露光、円筒試料

先行研究により直径2mmの円筒試料表面に線幅30-100µm程度のパターンを形成可能な走査投影露光装置が開発され、装置の基本性能が評価された。本研究では、ステント、網目管などへの応用を目標に直径2mmのステンレス管に網目パターンを形成し、化学エッチングによりステント形状部品を製作した。