PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 0 コメント (0) 15:00 〜 15:15 ▲ [13p-A41-4] A PIC-MCC plasma model created on COMSOL Multiphysics 〇Ayuta Suzuki1、Satoru Kawaguchi2、Masaaki Matsukuma1、Kazuki Denpoh1 (1.Tokyo Electron Ltd.、2.Muroran Inst. of Technol.) キーワード:PIC-MCC, Plasma simulation