[14p-A21-1~13] 窒化物半導体の最前線　－欠陥のない結晶・デバイスを目指して－

[14p-A21-11] [講演奨励賞受賞記念講演] GaN-LEDを用いた高密度光電子集積回路基盤技術の開発

〇土山 和晃¹、宇都宮 脩¹、中川 翔太¹、山根 啓補¹、関口 寛人¹、岡田 浩^2,1、若原 昭浩^1,2 (1.豊技大工、2.豊技大エレクトロニクス先端融合研究所)

キーワード：モノリシック集積、ウェハ接合、光電子集積回路