[15p-B10-1~17] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15p-B10-8] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I）

〇佐布 晃昭¹、小西 敏文¹、山根 大輔^2,4、年吉 洋^3,4、曽根 正人^2,4、益 一哉^2,4、町田 克之^1,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、加速度センサ

我々は、MEMS（Microelectromechanical Systems）技術を用いた加速度センサの高分解能化について研究開発を行っている。これまで、機械的なノイズを低減するため、錘に高密度のメタルを用いたsub-1Gを検出可能な高分解能MEMS加速度センサを提案してきた。今回、積層メタル技術によって作製するMEMS加速度センサのばね定数の設計方法を提案し、実際にデバイスを試作し、ばね構造の基本特性を実験的に評価したので報告する。