[15p-B3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [15p-B3-5] β-FeSi₂/Siナノ混合相の酸化プロセス の拡散解析

〇有馬 幹尋¹、淵 雅也¹、鳴海 一雅²、前田 佳均^1,2 (1.九工大院情報工、2.量研機構量子ビーム)

キーワード：鉄シリサイド、酸化、発光

β-FeSi₂/Si (β/Si) ナノ混合相の致命的欠点を克服すべく，室温でも電子・正孔閉じ込めが十分期待できるβ/SiO₂ナノ混合相を考案し，Siの選択酸化を利用してβ/Siからβ/SiO₂ナノ混合相が直接作製でき，さらにβ/SiO₂からは250K付近まで発光が観察できることを示した．本研究では，β/Siナノ混合相の酸化プロセスについてRBS解析から得た元素の深さ分布から拡散流を求め、酸化プロセスを明らかにした．