[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-2] 高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CN_x:H薄膜の形成と構造解析

〇飯澤 仁規¹、平松 拳也¹、齋藤 秀俊¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：アモルファス窒化炭素