[15p-P7-1~2] 8.4 プラズマエッチング

[15p-P7-2] プラズマエッチング装置におけるチャンバー内壁上の堆積膜の監視

〇笠嶋 悠司¹、上杉 文彦¹ (1.産総研)

キーワード：パーティクル、プラズマインピーダンス