[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-B7-4] O₂/TEOSスロット型マイクロ波プラズマCVDによるSIO₂膜形成

〇山本 匡毅¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：プラズマCVD、マイクロ波プラズマ