11:45 〜 12:00
〇(M1)北野 卓也1、伊藤 卓也1、鈴木 宏明1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1 (1.金沢大)
北野 卓也
発表者・著者、共著者
2016年3月21日(月) 09:00 〜 12:00 W611 (西6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.1 プラズマ生成・制御
2016年3月19日(土) 13:45 〜 18:15 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
14:00 〜 14:15
〇(M1)北野 卓也1、伊藤 卓也1、鈴木 宏明1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1、クンプアン ソマワン2、原 史朗2 (1.金沢大、2.産総研)