17:45 〜 18:00 [20p-S221-16] 多相HfO2膜における均一強誘電相の発現 〇柴山 茂久1,2、徐 倫1、右田 真司3、鳥海 明1 (1.東大院工、2.学振特別研究員、3.産総研)
18:00 〜 18:15 [20p-S221-17] 強誘電性HfO2膜における分極ドメインの減衰 〇柴山 茂久1,2、徐 倫1、右田 真司3、鳥海 明1 (1.東大院工、2.学振特別研究員、3.産総研)