Chalvin Florian

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発表者・著者、共著者

2016年3月19日(土) 13:30 〜 18:00 S224 (南2号館)

一般セッション(口頭講演)
| 7 ビーム応用
| 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

17:00 〜 17:15

▲ [19p-S224-14] Induced stress during peeling release with various template stiffness in nanoimprint lithography

〇(M2)Chalvin Florian^1,2、Tochino Takamitsu¹、Nakamura Naoto¹、Yasuda Masaaki¹、Kawata Hiroaki¹、Hirai Yoshihiko¹ (1.Osaka Pref. Univ.、2.ENSEA)