[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-W621-7] 負荷インピーダンス測定手法によるプラズマエッチングチャンバー内壁の監視

〇笠嶋 悠司¹、上杉 文彦¹ (1.産総研)

キーワード：プラズマインピーダンス、パーティクル、堆積膜