[20p-H121-1~24] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-H121-24] 誘導結合型プラズマ反応性イオンエッチングを用いたGaNの逆メサ加工

〇(M1)板垣 憲広¹、永利 圭¹、岡田 成仁¹、井本 良¹、西宮 智晴²、松尾 文晴²、只友 一行¹ (1.山口大学院理工、2.サムコ(株))

キーワード：窒化ガリウム、メサ