[20p-P14-1~23] 13.10 化合物太陽電池

[20p-P14-5] 薄膜太陽電池応用に向けた電気化学インピーダンス法による堆積時のスパッタダメージの定量化

〇(M1)中井 洋志¹、坂倉 秀徳¹、川出 大祐¹、Hüseyin Sarı²、板垣 昌幸¹、杉山 睦¹ (1.東京理科大学　理工/総研、2.アンカラ大学)

キーワード：スパッタ、酸化ニッケル、電気化学インピーダンス法