[20p-W621-1~7] 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

[20p-W621-5] 粒子法による希薄気体流れとプラズマシミュレーション

〇和田 隆生¹、佐橋 一裕¹、塩谷 明美¹ (1.(株)ウェーブフロント)

キーワード：数値解析、希薄気体流れ、プラズマ

本講演では、商用シミュレーションソフトの特徴とメーカーにおける数値解析の活用事例について発表する．弊社で開発したDSMC-NeutralsとParticle-PLUSを用いた希薄気体流れとプラズマシミュレーションの計算事例について紹介する．計算手法としてそれぞれ、DSMC (Direct Simulation Monte Calro)法とPIC (Particle in Cell)法を採用している．