4:30 PM - 5:00 PM
[20p-W621-6] Simulation of plasma processing
Keywords:low temperature plasma,simulation,fluid model
プラズマプロセス技術(プラズマCVD、エッチング、スパッタリング等)で用いられる非平衡・低温プラズマに関して、流体モデルを用いた数値シミュレーションについて考え方の概要を説明する。また商用ソフトウェア PEGASUS/PHM を用いておこなったシミュレーション結果をいくつか紹介する。