The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016

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Symposium

Symposium » Gas Flow Analysis in Vacuum and Low-Pressure Processing

[20p-W621-1~7] Gas Flow Analysis in Vacuum and Low-Pressure Processing

Sun. Mar 20, 2016 2:00 PM - 5:30 PM W621 (W6)

Ken Nakamura(AIST), Yoshihiko Moriyama(Toshiba Corporation)

4:30 PM - 5:00 PM

[20p-W621-6] Simulation of plasma processing

Fumihiko Matsunaga1 (1.PEGASUS Software)

Keywords:low temperature plasma,simulation,fluid model

プラズマプロセス技術(プラズマCVD、エッチング、スパッタリング等)で用いられる非平衡・低温プラズマに関して、流体モデルを用いた数値シミュレーションについて考え方の概要を説明する。また商用ソフトウェア PEGASUS/PHM を用いておこなったシミュレーション結果をいくつか紹介する。