[20p-W621-1~7] Gas Flow Analysis in Vacuum and Low-Pressure Processing

[20p-W621-6] Simulation of plasma processing

〇Fumihiko Matsunaga¹ (1.PEGASUS Software)

Keywords:low temperature plasma,simulation,fluid model

プラズマプロセス技術（プラズマＣＶＤ、エッチング、スパッタリング等）で用いられる非平衡・低温プラズマに関して、流体モデルを用いた数値シミュレーションについて考え方の概要を説明する。また商用ソフトウェア PEGASUS/PHM を用いておこなったシミュレーション結果をいくつか紹介する。