2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

[20p-W621-1~7] 真空・減圧プロセスにおける気体の流れの解析

2016年3月20日(日) 14:00 〜 17:30 W621 (西6号館)

中村 健(産総研)、守山 佳彦(東芝)

16:30 〜 17:00

[20p-W621-6] プラズマプロセスにおけるシミュレーション

松永 史彦1 (1.ペガサスソフトウェア)

キーワード:非平衡プラズマ、シミュレーション、流体モデル

プラズマプロセス技術(プラズマCVD、エッチング、スパッタリング等)で用いられる非平衡・低温プラズマに関して、流体モデルを用いた数値シミュレーションについて考え方の概要を説明する。また商用ソフトウェア PEGASUS/PHM を用いておこなったシミュレーション結果をいくつか紹介する。