[21a-S222-1~12] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[21a-S222-6] β-Ga₂O₃結晶における励起子-LOフォノン相互作用

〇尾沼 猛儀^1,2、齋藤 伸吾²、佐々木 公平^3,2、後藤 健³、増井 建和³、山口 智広¹、本田 徹¹、倉又 朗人³、東脇 正高² (1.工学院大、2.情通機構、3.タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム、励起子、フォノン

酸化ガリウムはバンドギャップが大きく単結晶作製も比較的容易なため、高耐圧、低損失のパワーデバイスを低コスト・低エネルギーで製造できる材料として注目を集めている。本講演では、偏光反射スペクトルの温度依存性および赤外分光エリプソメトリ測定を行い、反射スペクトルに現れる励起子共鳴構造に、励起子-LOフォノン相互作用が大きく関与することが新たに分かったので報告する。