16:00 〜 18:00
[21p-P17-10] CVD法によるMnOx拡散バリア層の形成に伴うポーラスSiOCHへの
Mn拡散
キーワード:拡散バリア、CVD-Mn、ポーラスlow-k
一般セッション(ポスター講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
16:00 〜 18:00
キーワード:拡散バリア、CVD-Mn、ポーラスlow-k