[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-19] 電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性

〇寺西 美波^1,2、Chang Tso-Fu Mark^1,2、Chen Chun-Yi^1,2、小西 敏文³、町田 克之^1,2,3、年吉 洋^2,4、山根 大輔^1,2、益 一哉^1,2、曽根 正人^1,2 (1.東工大、2.JST-CREST、3.NTT AT、4.東大)

キーワード：MEMS、Ti/Au、安定性