[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-4] 低温MLB-CLC poly-Si TFTsの電気特性に対する結晶粒界の影響

〇平田 達誠¹、グエン トゥイ¹、平岩 弘之¹、小谷 光司²、吉川 公麿¹、黒木 伸一郎¹ (1.広島大学ナノデバイス、2.東北大学院工学研)

キーワード：ポリシリコンTFT