17:30 〜 17:45 [6p-C21-15] ミニマルファブにおけるCMP を⽤いた平坦化プロセスの評価 〇梅山 規男1,2、三浦 典子2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
18:00 〜 18:15 [6p-C21-17] 新素材のハーフインチウェハ化加⼯モデル 〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.不二越機械工業)