17:30 〜 17:45
〇梅山 規男1,2、三浦 典子2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
梅山 規男
発表者・著者、共著者
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
18:00 〜 18:15
〇梅山 規男1,2、酒井 孝昭3、鍛冶倉 惇3、市川 浩一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.不二越機械工業)