14:45 〜 15:00
松尾 美弥1、〇室井 光子1、李 寧1、羽深 等1、三ケ原 孝則2,3、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
室井 光子
発表者・著者、共著者
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年9月6日(水) 13:45 〜 19:00 C21 (C21)
14:45 〜 15:00
松尾 美弥1、〇室井 光子1、李 寧1、羽深 等1、三ケ原 孝則2,3、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)