16:00 〜 18:00 [6p-PA8-3] プラズマエッチング処理ならびにAl2O3-ALD膜形成プロセスを経たAlGaNエピタキシャル膜のPLライフタイム測定 〇中島 陸1、森 拓磨1、細見 大樹1、江川 孝志1、三好 実人1 (1.名古屋工業大学)