11:45 〜 12:00 [7a-A504-11] 表面活性化接合に向けたAr-FAB照射によるGaInAs/InPウェハのPL特性への影響評価 〇永坂 久美1、鈴木 純一1、雨宮 智宏1,2、西山 伸彦1,2、荒井 滋久1,2 (1.東工大工、2.未来研)