[5a-A203-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[5a-A203-7] 4H-SiC MOSキャパシタにおける遅い欠陥準位の光照射により観測されるC-V特性ヒステリシス解析による評価

〇西田 水輝¹、平井 悠久¹、喜多 浩之¹ (1.東大院工)

キーワード：SiC、MOS、光照射CV