[5p-S42-1~15] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[5p-S42-10] 室温ナノインプリントによるハイアスペクト構造作製

〇岡田 真¹ (1.兵県大高度研)

キーワード：ナノインプリント

室温ナノンプリントによってハイアスペクトパターンの作製を試みた。