[6p-C17-1~15] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[6p-C17-14] Formation of blue-light emitting W-Zn-O phosphor film by using rapid thermal oxidation

〇Tomoyuki Kawashima¹, Katsuyoshi Washio¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:phosphor, oxide

本研究ではこれまでに作製した透明な希土類元素フリーZnバナデート黄色蛍光体と組み合わせる透明青色蛍光体薄膜について検討する。本蛍光体膜はZnWO₄とWO₃から成り、RFマグネトロンスパッタ法により堆積したW-Zn-O薄膜に急速熱酸化処理を施して形成する。主に熱酸化温度が発光スペクトルと量子効率に及ぼす影響を検討した。