[6p-C17-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[6p-C17-14] 急速加熱処理によるW-Zn-O青色蛍光体薄膜の形成

〇川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工)

キーワード：蛍光体、酸化物

本研究ではこれまでに作製した透明な希土類元素フリーZnバナデート黄色蛍光体と組み合わせる透明青色蛍光体薄膜について検討する。本蛍光体膜はZnWO₄とWO₃から成り、RFマグネトロンスパッタ法により堆積したW-Zn-O薄膜に急速熱酸化処理を施して形成する。主に熱酸化温度が発光スペクトルと量子効率に及ぼす影響を検討した。