The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

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Oral presentation

13 Semiconductors » 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

[6p-C21-1~20] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /Interconnect technology/ MEMS/ Integration technology

Wed. Sep 6, 2017 1:45 PM - 7:00 PM C21 (C21)

Kuniyuki Kakushima(Titech), Masato Sone(Titech)

6:30 PM - 6:45 PM

[6p-C21-19] Cleanroom Free Environment Control System for Minimal PLAD (3)

Takashi Yajima1, Masaharu Yasui1, Sommawan Khumpuang1, Hitoshi Maekawa1, Shiro Hara1 (1.AIST)

Keywords:minimal fab

我々は、ミニマルファブの局所クリーン化搬送システムにおける前室システムの研究開発を行っている。前回までの報告で、前室に供給するクリーンエア流量を圧力変動に応じて制御し、内部の差圧を一定に保つPLADクリーン化システムを提案した。今回、この装置をミニマル装置実機に取り付け、プロセス室と連結させたときの圧力制御方法の検討とウエハ上の清浄度についての評価を行った。