[6p-PA8-1~31] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[6p-PA8-29] SiO₂/n-GaN 界面における堆積前処理及び高圧水蒸気処理の効果

〇赤野 拓哉¹、上沼 睦典¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：パワーデバイス