[6p-S43-1~21] 11.4 Analog applications and their related technologies

△ [6p-S43-6] Magnetic response characteristics of magneto-resistive sensors with superconducting magnetic focusing thin film

〇Tetsuro Hirata¹, Yoshihiro Nakamura¹, Yatsuse Majima¹, Kaoru Amano¹, Kenji Sakai¹, Toshihiko Kiwa¹, Keiji Tsukada¹ (1.Okayama Univ.)

Keywords:Magnetic Sensor, superconducting thin film, Magnetic flux focusing plate

磁気抵抗素子(MR)は広く民生用として使われているが，超伝導量子干渉素子(SQUID)と比較して感度は非常に低い。本研究では超伝導薄膜による磁束フォーカス板をMRセンサと組み合わせ，SQUIDとMRセンサの中間領域の感度を得られる磁気センサの開発を目指した。超伝導薄膜のスリットの間にMRセンサを配置し，MRセンサに磁束を集中させることで感度を改善することができた．また，薄膜のスリット幅やMRセンサとの相対位置の最適化をおこなった。