[6p-S43-1~21] 11.4 アナログ応用および関連技術

△ [6p-S43-6] 超伝導薄膜フォーカス板を用いた磁気抵抗素子の応答特性

〇平田 哲朗¹、中村 喜浩¹、馬島 八世¹、天野 薫¹、堺 健司¹、紀和 利彦¹、塚田 啓二¹ (1.岡山大)

キーワード：磁気センサ、超伝導薄膜、磁束フォーカス板

磁気抵抗素子(MR)は広く民生用として使われているが，超伝導量子干渉素子(SQUID)と比較して感度は非常に低い。本研究では超伝導薄膜による磁束フォーカス板をMRセンサと組み合わせ，SQUIDとMRセンサの中間領域の感度を得られる磁気センサの開発を目指した。超伝導薄膜のスリットの間にMRセンサを配置し，MRセンサに磁束を集中させることで感度を改善することができた．また，薄膜のスリット幅やMRセンサとの相対位置の最適化をおこなった。