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△ [6p-S43-6] 超伝導薄膜フォーカス板を用いた磁気抵抗素子の応答特性
キーワード:磁気センサ、超伝導薄膜、磁束フォーカス板
磁気抵抗素子(MR)は広く民生用として使われているが,超伝導量子干渉素子(SQUID)と比較して感度は非常に低い。本研究では超伝導薄膜による磁束フォーカス板をMRセンサと組み合わせ,SQUIDとMRセンサの中間領域の感度を得られる磁気センサの開発を目指した。超伝導薄膜のスリットの間にMRセンサを配置し,MRセンサに磁束を集中させることで感度を改善することができた.また,薄膜のスリット幅やMRセンサとの相対位置の最適化をおこなった。