2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2017年9月7日(木) 09:00 〜 12:30 C21 (C21)

野口 隆(琉球大)、佐道 泰造(九大)

10:00 〜 10:15

[7a-C21-5] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(Ⅱ)

鈴木 貴博1、横川 凌1,4、三野 伸晃1、高橋 和也2、小森 克彦2、森本 保3、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北(株)、3.東京エレクトロン(株)、4.学振特別研究員DC)

キーワード:ナノ結晶