[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [7a-C21-5] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造評価(Ⅱ)

〇鈴木 貴博¹、横川 凌^1,4、三野 伸晃¹、高橋 和也²、小森 克彦²、森本 保³、澤本 直美¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北(株)、3.東京エレクトロン(株)、4.学振特別研究員DC)

キーワード：ナノ結晶