[7a-C21-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[7a-C21-6] In situ XRD 及びTEMによるアモルファスシリコンの結晶化過程観察

〇高石 理一郎¹、佐久間 究¹、浅野 孝典¹、齋藤 真澄¹、田中 洋毅¹、太期 由貴子²、福嶌 豊² (1.東芝、2.東芝ナノアナリシス)

キーワード：多結晶シリコン、X線回折、透過電子顕微鏡