[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [7p-A402-12] 高圧マルチホロー放電プラズマCVD下流におけるラジカル成膜速度の時間変化

〇小島 尚¹、都甲 将¹、田中 和真¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九州大学)

キーワード：水素化アモルファスシリコン、太陽電池、プラズマCVD