[7p-A402-7~23] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[7p-A402-19] 吹き出し型プラズマによるグラフェンの低温合成に関する研究

〇金 載浩¹、榊田 創¹、板垣 宏知¹ (1.産総研)

キーワード：グラフェン、プラズマCVD、ナノカーボン

本研究では、新規に開発した吹き出し型マイクロ波プラズマ源を用いて、グラフェンの大面積・低温・高品質合成技術の開発を行っている。講演では、この技術開発の背景および最近の実験結果について報告する。