[7p-A402-7~23] 8.3 Plasma deposition of thin film and surface treatment

[7p-A402-21] Development of diamond synthesis process by microwave hydrogen plasma enhanced chemical transport

〇(M1)Atsuhisa Togo¹, Satoshi Yamazaki¹, Hiroaki Kakiuchi¹, Kiyoshi Yasutake¹, Hiromasa Ohmi¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:hydrogen plasma, CVD, diamond

我々は、高密度水素プラズマによる化学輸送法を利用することにより、化石燃料由来の原料ガスを用いることなく、ダイヤモンドなどの工業的付加価値の高い機能性炭素膜を木質バイオマスの木炭原料から形成するプロセスを提案している。そしてこの物質変換プロセスの実現化に向け、特性が良く規定されている工業用グラファイトを用い、ダイヤモンドの形成を目指し、諸特性の調査を行った。本講演では、その結果について報告する。