[8a-A411-1~10] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [8a-A411-5] 二光子吸収型パルスレーザを用いた薄膜BOX SOI SRAMの特異な線状ソフトエラーに関する研究

〇井辻 宏章^1,2、小林 大輔^1,2、川崎 治³、松浦 大介⁴、成田 貴則⁴、加藤 昌浩⁴、石井 茂⁴、益川 一範⁴、廣瀬 和之^1,2 (1.東大院工、2.JAXA宇宙研、3.JAXA研開部門、4.三菱重工業（株）)

キーワード：ソフトエラー、SOI、SRAM

最近我々のグループが行った重イオン照射試験では、薄膜BOXを有するSOI SRAMにバックバイアスを印加すると、印加しなかった時と比べ、ソフトエラー感応面積が約100倍になった。約100倍増加した時、線状のソフトエラー領域が観測された。本研究では、長い侵入長を実現でき、照射位置を固定できる国内初の二光子吸収型パルスレーザ照射システムを用いて、この異常なソフトエラーのメカニズムに迫る知見を得た。