15:00 〜 15:15 △ [15p-311-7] 反応性マグネトロンスパッタ法を用いたNbH薄膜のエピタキシャル成長 〇(B)笹原 悠輝1、清水 亮太1、杉山 一生1、大口 裕之2、白木 将2、折茂 慎一2,3、一杉 太郎1,2 (1.東工大物質理工、2.東北大AIMR、3.東北大金研)