09:30 〜 09:45 [16a-B5-3] Mg/Si 同時スパッタ堆積法によるサファイア基板へのMg2Si薄膜合成 〇池畑 隆1、西城 要1、笹島 良太1、佐藤 直幸1、鵜殿 治彦1 (1.茨城大院理工)